Pfeiffer Vacuum: Was hinter dem Lecksignal steckt

Die kleinste Zahl erklärt noch nicht die Prüfung

Auf der aktuellen Produktseite des ASM 340 stehen zwei sehr verschiedene Werte: Für Helium im Sprühtest nennt Pfeiffer eine kleinste nachweisbare Leckrate von 1 × 10⁻¹² mbar·l/s, beim Schnüffeln 5 × 10⁻⁹ mbar·l/s. Beide beschreiben dasselbe angebotene Gerät in unterschiedlichen Messarten. Wer nur die kleinere Zahl vergleicht, verliert den eigentlichen Einsatzfall aus dem Blick. Herstellerangabe [Q05]

Für einen Prüfplan zählen zuerst Bauteil, Betriebsmedium, zulässige Leckage und Prüfzustand. Soll eine Stelle gefunden werden, oder geht es um die gesamte Leckrate eines geschlossenen Objekts? Kann das Teil evakuiert oder mit Prüfgas beaufschlagt werden? Die fachliche Auswahl des Verfahrens geht der Gerätewahl voraus. Das ist eine technische Einordnung, keine schon gemessene Prozessfähigkeit eines bestimmten Aufbaus. [Q31] [Q11]

Pfeiffer Vacuum GmbH sitzt in Aßlar. Der unter Pfeiffer Vacuum+Fab Solutions beschriebene Umfang reicht über Lecksucher hinaus: Vakuumpumpen, Messtechnik, Kammern, Komponenten und Fab-Angebote gehören dazu. Die deutsche Standortseite nennt jedoch separate Gesellschaften für Components & Solutions in Göttingen und Fab Solutions in Blaubeuren. Das Markenportfolio ist deshalb von der tatsächlichen Liefer- und Integrationsrolle des Vertragspartners zu unterscheiden. [Q01] [Q02] [Q03]

Vom Gasweg zum auswertbaren Signal

Beim Helium-Sprühtest wird das Objekt evakuiert und von aussen mit Prüfgas beaufschlagt. Gas, das durch ein Leck eintritt, gelangt zum massenspektrometrischen Detektor. Beim Schnüffeln wird dagegen austretendes Prüfgas an zugänglichen Stellen aufgenommen. Pumpweg, Gasuntergrund, Anschluss und Sondenführung gehören damit zur Messaufgabe. Der ASM 340 wird mit unterschiedlichen Vorpumpenkonzepten angeboten; die Messart ist ebenso wichtig wie die Bestellvariante. [Q04] [Q05]

Für Integration ist der ASI 35 anders zugeschnitten als ein eigenständiges Gerät: Vakuum- und Elektronikmodul lassen sich getrennt platzieren und in eine Prüfanlage einbinden. Vorrichtung, Gasversorgung, Schnittstellen und Steuerung müssen trotzdem gemeinsam ausgelegt werden. Der im August 2026 vorgestellte ASM HVM verbindet dagegen Turbo- und trockene Scroll-Vorpumpe in einer mobilen Einheit für mittlere Prüfvolumina. Daraus folgt keine pauschale Reinraumklassifizierung oder garantierte Taktzeit. [Q06] [Q30]

Luft statt Prüfgas ist eine eigene Entscheidung

Das Air-Portfolio trennt Micro-Flow unter Überdruck, etwa mit E2 oder EQ, von Mass Extraction unter Vakuum, etwa mit VE2 oder MQ. Dabei wird ein Leck über Luftströmung erfasst. Der Prüfling muss die jeweilige Druckbelastung vertragen; Volumen und Temperatur beeinflussen den Prüfablauf. Die ausführliche Familienseite ist hier präziser als der gemeinsame Micro-Flow-Kurztext auf der E2/VE2-Produktseite. Eine allgemeine Zeitersparnis gegenüber jedem Druckabfalltest lässt sich daraus nicht ableiten. [Q07] [Q08]

Darüber hinaus beschreibt Pfeiffer konfigurierbare Prüfmodule und die automatische Station OmniDetect. IPE2/IPE2-HP adressieren industrielle Aufgaben mit optionalen zwei Kanälen. Für Verpackungsintegrität stehen Heliumtechnik mit ASM 2000, optische Emissionsspektroskopie mit AMI 1000 und Mass Extraction mit SpeedAir 3050 bereit. Ein separates Dry Chiller Module ergänzt kompatible ASM 2000-/AMI 1000-Aufbauten. Das sind unterschiedliche Angebote; Eignung, Defektklasse, Produktzustand und gegebenenfalls Kälteprofil müssen behälterspezifisch nachgewiesen werden. Ein CCIT-Gerät allein belegt weder Sterilität noch eine Arzneimittelzulassung. [Q09]

Was neben dem Lecksucher zum Angebot gehört

Im Pumpenangebot gibt es mehrere physikalisch unterschiedliche Wege. HiPace, SplitFlow und ATH-M/ATP-M stehen für Turbomolekularpumpen mit unterschiedlichen Konfigurationen und Lagerungen; sie benötigen eine geeignete Vorpumpe. Für trockenes Vorvakuum beschreibt Pfeiffer MVP-Membranpumpen und HiScroll-Scrollpumpen. Mehrstufige Roots-Familien wie ACP bieten weitere, teils gas- und kondensatbezogene Varianten. Ein trockener Schöpfraum bedeutet dabei noch keine pauschale Eignung für beliebige Prozessgase. [Q13] [Q14] [Q15] [Q16] [Q32]

DuoVane, SmartVane und BA 501 ergänzen das ölgedichtete Drehschieberangebot. Die Schraubenbaureihe COBRA Semicon erscheint im markenübergreifenden Gruppenportfolio. HiLobe-Booster erhöhen zusammen mit einer Vorpumpe das verfügbare Saugvermögen im geeigneten Bereich. HiCube-Neo- und COMBI-Pumpstände bündeln mehrere Bausteine. Ob der gewünschte Druck in der nötigen Zeit erreicht wird, hängt auch von Gaslast, Leitungen, Kühlung und Regelung ab. [Q33] [Q18] [Q17] [Q25]

Druck, Gaszusammensetzung und Mechanik getrennt behandeln

Für die Druckmessung führt Pfeiffer digitale und analoge Familien wie DigiLine, ActiveLine und CenterLine sowie ModulLine für besondere Umgebungen. Direkte, Wärmeleitungs- und Ionisationsverfahren haben unterschiedliche Messbereiche und Gasabhängigkeiten. Totaldruck beantwortet eine andere Frage als die Zusammensetzung des Restgases. Dafür dienen Quadrupol-Massenspektrometer wie PrismaPro, HiQuad Neo und OmniStar/ThermoStar sowie Systemlösungen wie HiCube Neo RGA. [Q19] [Q20] [Q21]

Kammern, Flansche, Dichtungen, Ventile, Durchführungen und Manipulatoren schaffen die mechanischen und funktionalen Schnittstellen. Bei Ventilen sind Absperren, Belüften und Druckregeln unterschiedliche Aufgaben. Auswahlkriterien sind unter anderem Werkstoff, Gas, Temperatur, Differenzdruck und Leitwert. Werks-/Laborkalibrierangebote und Basic-/Pro-Kalibriersysteme ergänzen die Messtechnik. Ihr tatsächlicher Messbereich und die Rückführung müssen zum Auftrag passen. [Q22] [Q23] [Q24] [Q35] [Q36] [Q12] [Q34]

Der Fab-Bereich hat weitere Aufgaben

Das erweiterte Markenangebot umfasst auch Waferträger- und Umgebungsanalytik: APA 302 für molekulare Belastung in Pods, ADPC 302 für Partikel sowie AMPC und AMCTrack für weitere AMC-Aufgaben. APR 4300 und SmartClean sind eigene Regenerations- beziehungsweise Reinigungsangebote. Messung und Reinigung sind damit getrennte Leistungen. Aus ihrer Beschreibung folgt noch kein gemessener Yield-Gewinn eines Kunden. [Q26]

Bei der Prozessabgasbehandlung kombiniert das Fab-Angebot je nach Stoffstrom thermisch-nasse Verfahren, Nasswäscher, Trockenbettabsorber oder Partikelfilter. Chemie, Medien, Abfall und geforderte Emissionsleistung bestimmen die Auslegung. Die getrennten Gesellschaften und ihre Projektverantwortung bleiben auch hier relevant; dies ist kein universelles Abgasreinigungsversprechen der Aßlarer Einheit. [Q27] [Q02]

Das Labor kann die offene Systemfrage bearbeiten

Im Juli 2026 meldete Pfeiffer ein neues Applikationslabor am Hauptsitz in Aßlar. Beschrieben werden Machbarkeitsstudien, kundenspezifische Tests und die Bewertung verschiedener Lecksuchmethoden. Das ist ein konkretes Angebot, die Technologie vor der Produktion am Anwendungsfall zu prüfen. Der Bericht für das eigene Bauteil bleibt der entscheidende nächste Beleg. [Q10]

Die Servicebeschreibung nennt temperaturabhängige Leckprüfungen von−40 bis +180 °C und maximal 200 bar(a). Diese Grenzen gehören zum beschriebenen Dienstleistungsangebot. Sie belegen weder jede Kombination der Extremwerte noch dieselbe Ausstattung an jedem Standort oder eine 200-bar-Freigabe jedes Prüfgeräts. Vor-Ort-Leckprüfung mit qualifiziertem Personal wird ausdrücklich für ausgewählte Regionen beschrieben. [Q11]

Auch Kalibrierung braucht einen präzisen Auftrag: konkretes Labor, Messbereich, Referenz und Unsicherheit. Pfeiffer beschreibt Werkskalibrierung und eine akkreditierte Laboroption. Ein aktuelles Zertifikatsoriginal mit passendem Scope wurde für diesen Artikel nicht verifiziert; alte Normverweise auf einer Servicewebseite ersetzen es nicht. [Q12]

Wann ein einfacherer Aufbau ausreicht

Eine qualifizierte bestehende Prüfung kann die richtige Lösung bleiben. Druckabfall- oder Differenzdruckverfahren, Blasenprüfung, ein integraler Prüfgastest und lokale Lecksuche lösen nicht automatisch dieselbe Aufgabe. Ein fairer Vergleich braucht gleiche Teile und Zustände, dieselbe akzeptierte Leckage sowie einen vollständigen Fehlernachweis. Empfindlichkeit ist dabei nur eines der Auswahlmerkmale. [Q31] [Q05] [Q07]

Beim Vakuumaufbau kann eine passende Drehschieberpumpe genügen; bei empfindlichen Prozessen kann ein trockener Schöpfraum entscheidend sein. Ein Booster ist keine alleinstehende Universallösung. Restgasanalyse wiederum ersetzt keine Partikel-Restschmutzprüfung. Die technische Grenze sollte daher schon im Pflichtenheft stehen, bevor ein Katalogmerkmal zum Beschaffungsargument wird. [Q33] [Q16] [Q17] [Q21]

Mit einem überprüfbaren Fall beginnen

Für Unternehmen in der Schweiz, Deutschland und Österreich liegt die übertragbare Chance darin, Prüfziel, Gerät und Vakuumaufbau gemeinsam zu spezifizieren. Das setzt klare Verantwortlichkeiten in Qualität und Engineering voraus. Welche Gesellschaft vor Ort liefert, wer Vorrichtung und Integration verantwortet und was der Servicevertrag umfasst, ist je Angebot zu klären. Ein weltweites Netz beweist kein einheitliches SLA. [Q02] [Q28]

Pfeiffer bietet neben Produktservice und Originalteilen auch technische Kurse zu Vakuum, Totaldruckmessung, Lecksuche und Quadrupol-Massenspektrometern an. Solche Unterstützung kann den Betrieb vorbereiten. Ein Kursabschluss ist jedoch nicht automatisch eine zertifizierte Prüferqualifikation oder die Freigabe eines Produktionsprozesses. [Q28] [Q29]